扩散泵原理

扩散泵是一种高效的真空泵，其工作原理基于气体分子在高速蒸汽射流中的扩散和传输。以下是扩散泵的基本原理：

1. 加热与蒸发 ：

扩散泵内部油被加热器加热至沸腾状态，生成高速蒸汽。

2. 蒸汽射流 ：

高速蒸汽通过喷嘴以超音速射出，形成低密度、高速的蒸汽射流。

3. 气体分子扩散 ：

被抽容器中的气体分子因扩散进入蒸汽射流，并被蒸汽射流带走。

4. 气体压缩 ：

气体分子在射流中不断被压缩，最终达到前级机械泵可以抽走的压强。

5. 油蒸汽冷凝循环 ：

油蒸汽在泵壁处冷凝成液体，并沿泵壁流回油锅中重新加热蒸发，形成循环。

6. 极限真空 ：

通过控制油蒸汽的蒸气压和泵油的分馏与净化，扩散泵可以达到10^-2至10^-5帕斯卡的极限真空度。

扩散泵通常与机械泵串联使用，在机械泵抽至一定真空度后启动扩散泵，以达到更高的真空要求。扩散泵的抽气速度快，能力强，适用于气体分子较稀薄的环境。

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